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超微型真空泵是一種應(yīng)用于精密儀器、計(jì)量?jī)x器、醫(yī)療設(shè)備、半導(dǎo)體器件、電子元件、觀測(cè)儀器等領(lǐng)域的小型化真空泵。它具有超高的抽真空速率和高溫耐受性，是一種主要用于高科技制造行業(yè)的高端微型化真空泵。下面我們將分別介紹超微型真空泵的種類。
離心泵是超微型真空泵中較為常見(jiàn)的一種泵，它具有構(gòu)造簡(jiǎn)單、體積小巧、性能可靠、維護(hù)方便的特點(diǎn)，其工作原理是將氣體分離成分離室并抽出離心力。這種泵分為單級(jí)泵和多級(jí)泵，具有不同級(jí)別的泵會(huì)產(chǎn)生更高的真空度。
旋轉(zhuǎn)螺桿泵是精度高、噪音低、運(yùn)行平穩(wěn)的一種泵，它由兩個(gè)關(guān)鍵部件——轉(zhuǎn)子和定子組成。在泵轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，它能將氣體逼出泵腔，形成泵排放口邊緣的真空壓力，從而實(shí)現(xiàn)抽真空的效果。
磁懸浮離心泵是一種全封閉式的泵，它采用磁力驅(qū)動(dòng)器和磁力軸承支撐泵轉(zhuǎn)子。這種泵無(wú)需真空密封件，避免了漏氣，無(wú)摩擦產(chǎn)生，使得抽氣過(guò)程非常穩(wěn)定、干凈，可減輕裝置的維護(hù)工作并延長(zhǎng)設(shè)備壽命。
根式泵也稱為“前級(jí)泵”，它是一種容積式泵，主要用于低真空度的加速排氣，根據(jù)使用場(chǎng)合不同分成兩類，一種是單級(jí)泵，適用于需求低真空度的環(huán)境，另一種則是多級(jí)泵，可用于高真空度和超高真空度。
離子泵屬于高真空泵，其特點(diǎn)是對(duì)氣體分子徑跡的選擇性吸附，是當(dāng)前最高真空度泵的代表。它由離子發(fā)生器、離子拋射器、力場(chǎng)縮聚器和靶板等組成，可以在極低壓力下，將氣體轉(zhuǎn)化為正或負(fù)電離子，將氣體排向靶板吸附，再通過(guò)吸附附著于靶板的分子排出導(dǎo)致真空度增加。
旋轉(zhuǎn)爪泵屬于重力勢(shì)能泵、容積泵類的中等真空度泵，是一種機(jī)械以壓縮空氣真空的方式工作，具有精度高，體積小巧，性能可靠的特點(diǎn)。它的工作原理是將相鄰的兩個(gè)螺旋狀旋挖（旋挖組）以特定的方式咬合，加上低速的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，將氣體從一個(gè)端口位移到另一個(gè)端口，達(dá)到抽氣的目的。
氦氣泵也稱超導(dǎo)泵，是一種利用超導(dǎo)電路的電磁感應(yīng)抽真空的泵類。它能夠釋放純凈的氦氣，將各種氣體排空，達(dá)到高度的真空深度。氦氣泵通常用于電磁場(chǎng)強(qiáng)度要求高、要求清潔的場(chǎng)合，如在各種超導(dǎo)漂浮體和磁懸浮制成領(lǐng)域中使用。
觸摸屏式超微型真空泵是一款集成率高，操作便捷，可實(shí)現(xiàn)人-機(jī)對(duì)話的泵類。它采用與手機(jī)一樣的電容屏設(shè)計(jì)，輕輕一掃即可看到真空度值和泵的狀態(tài)。此外，觸摸屏中還可設(shè)置工作時(shí)間及收發(fā)極的參數(shù)，多項(xiàng)科技設(shè)計(jì)極大地提升了泵類的智能化水平。
真空計(jì)是用于檢測(cè)真空度的測(cè)量?jī)x器，其工作原理根據(jù)檢測(cè)原理不同分為熱離子型、冷陰極型、紅外型和熒光型等。其中熱離子型是最常見(jiàn)的一種真空計(jì)，它將電子伏特表的電場(chǎng)應(yīng)用在熱陰極表面，將表面的氣體分子離子化，從而使離子向陰極靠近，這時(shí)可通過(guò)離子陰極電極之間的電流來(lái)計(jì)算壓力。
定期清洗：無(wú)論是機(jī)器內(nèi)部還是外部，都需要定期清洗，保證泵類油污不導(dǎo)致故障。
加油潤(rùn)滑：有些泵類需要加油，比如根式泵，而有些則需要定期潤(rùn)滑，防止機(jī)器損壞。
替換配件：泵類使用時(shí)間長(zhǎng)了或經(jīng)過(guò)大量工作后，需要更換配件，以保證更好的抽氣能力。
防止過(guò)載：泵類在工作時(shí)要注意其負(fù)載情況，高負(fù)載工作往往會(huì)使泵類磨損更快、故障率更高，所以要選擇適合負(fù)載情況的泵類使用。
保持清潔：使用后，需清理好放在干燥通風(fēng)處，以免積累過(guò)多灰塵污垢。
根據(jù)泵類使用情況選擇適當(dāng)?shù)谋妙?，避免使用過(guò)度導(dǎo)致的影響。
泵類必須安裝在防震防潮處，保管室內(nèi)必須保持干凈，泵類外表必須保持清潔。
泵類使用時(shí)須按說(shuō)明書所提供的正常操作流程來(lái)使用。
急著使用時(shí)，若發(fā)現(xiàn)泵類的油位偏低，不可慌亂加入油液，哈工大要加入正確重量的油液，才能保證泵類的正常運(yùn)行。
泵類避免震動(dòng)和碰撞，以免在長(zhǎng)期使用中導(dǎo)致故障或性能下降。
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